Фоторезисты негативные с химическим усилением серии ФН-16У

Фоторезисты негативные с химическим усилением серии ФН-16У

Контактная информация по продукту

Где купить?

Отдел сбыта
Тел.: (495) 408-81-66, тел./факс. (495) 408-50-81
e-mail: zavod-lixach7@mail.ru

Отдел материалов для электроники и спецтехники

Зав. отделом: Хан Ир Гвон
Зам. Зав. отделом: Кузнецова Нина Александровна
(495) 408-72-63, e-mail: lab32@niopik.ru


Версия станицы на английском языке En

Фоторезисты негативные с химическим усилением серии ФН-16У: ФН-16У-2, ФН-16У-4, ФН-16У-7

ТУ 2378-086-05784466-2016

Эта серия фоторезистов является аналогом AZ nLOF 2020, AZ nLOF 2035 и AZ nLOF 2070 фирмы MicroChemicals. Фоторезисты серии ФН-16У предназначены для использования в качестве защитного светочувствительного материала в прецезионных фотолитографических процессах при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем, а также для процессов физического напыления (PVD) и Lift-off процессов («взрывной» литографии). Экологически безопасны. Возможен выпуск любой модификации, обеспечивающей толщину пленок от 0,5 до 7,5 мкм. Фоторезисты серии ФН-16У чувствительны к i-лини (365 нм). Для проявления рекомендуется использовать безметальный проявитель ПП-051МС на основе 2,38%-ного водного раствора тетраметиламмония гидроксида.

Наименование показателя Норма для ФН-16У-2 Норма для ФН-16У-4 Норма для ФН-16У-7
Внешний вид Вязкая прозрачная жидкость светло-коричневого цвета
Разрешающая способность пленки фоторезиста, мкм, не хуже 5 8 10
Доза экспонирования, мДж/см2 10-20 20-30 25-35
Массовая доля сухого остатка, % 34±2 45±2 50±2
Толщина пленки фоторезиста, мкм 1,8-2,2 3,5-4,5 5,8-7,5


Контрактное производство
Премия призвание
Фото и видеоматериалы